Международная патентная классификация

C23C 16/40

Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП) .характеризуемые осаждением неорганического материала иного, чем металлический ..осаждение соединений, смесей или твердых растворов, например боридов, карбидов, нитридов ...оксиды