Международная патентная классификация

C23C 16/452

Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП) .характеризуемые способом покрытия ..характеризуемые способом, используемым для генерирования реакционноспособных газовых струй, например путем испарения или сублимации промежуточных материалов ...путем активирования реакционноспособных газовых струй перед вхождением в реакционную камеру, например путем ионизации или добавления реакционноспособных частиц