Международная патентная классификация

C23C 16/507

Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП) .характеризуемые способом покрытия ..путем использования электрических разрядов ...с использованием радиочастотных разрядов ....с использованием внешних электродов, например в реакторах туннельного типа