Международная патентная классификация

G03F 1/64

Оригиналы для фотомеханического получения текстурированных или фигурных поверхностей, например масок, фотомасок, сеток; бланки фотомасок или пленки для них; контейнеры, специально предназначенные для них; их изготовление .пленки или пакеты пленок, например имеющие мембрану на каркасе подложки; их изготовление ..отличающиеся каркасами, например их конструкцией или материалом