Международная патентная классификация

G03F 1/86

Оригиналы для фотомеханического получения текстурированных или фигурных поверхностей, например масок, фотомасок, сеток; бланки фотомасок или пленки для них; контейнеры, специально предназначенные для них; их изготовление .процессы изготовления, не отнесенные к группам G03F 1/20 — G03F 1/50 ..вспомогательные процессы, например чистка ...проверка ....с помощью потока заряженных частиц