Международная патентная классификация

G03F 7/22

Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей .экспонирование, устройства для этой цели ..последовательное экспонирование с различных участков одного и того же негатива одной и той же поверхности