Международная патентная классификация

G03F 7/40

Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей .обработка светочувствительных материалов; устройства для этой цели ..обработка после удаления изображения, например термообработка