Международная патентная классификация

H01L 21/74

Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей .изготовление и обработка приборов, состоящих из нескольких твердотельных компонентов или интегральных схем, сформированных на общей подложке или внутри нее, или их особых частей; изготовление приборов на интегральных схемах или их особых частей ..изготовление особых частей устройств, относящихся к группам H01L 21/70 ...получение скрытых подложек с большим содержанием примесей, например скрытых коллекторных слоев, внутренних соединений