Международная патентная классификация

H01L 21/78

Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей .изготовление и обработка приборов, состоящих из нескольких твердотельных компонентов или интегральных схем, сформированных на общей подложке или внутри нее, или их особых частей; изготовление приборов на интегральных схемах или их особых частей ..изготовление или обработка устройств, состоящих из нескольких твердотельных компонентов или интегральных схем, сформированных на общей подложке или внутри неё ...с последующим разделением подложки на несколько отдельных приборов