Международная патентная классификация

H01L 41/332

Пьезоэлектрические приборы вообще; электрострикционные приборы вообще; магнитострикционные приборы вообще; способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки таких приборов и их частей; конструктивные элементы таких приборов .способы или устройства, специально предназначенные для сборки, изготовления или обработки пьезоэлектронных или электрострикционных приборов или их частей ..придание формы или механическая обработка пьезоэлектрических или электрострикционных тел ...травлением, например литографией